1什么是气体质量流量计？

       质量流量计，即MassFlowMeter缩写为MFM,一种精确丈量气体流量的仪表，其丈量值不因温度或压力的动摇而失准，不需要温度压力弥补。

2什么是气体质量流量控制器？

      质量流量控制器,即MassFlowControl缩写为MFC,不但具有质量流量计的功能，更重要的能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有动摇或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

3气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？

1流量的丈量和控制不因温度或压力的动摇而失准。       

       对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力动摇及环境和介质的温度变化。

       对于普通的流量计，压力及温度的动摇将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

2丈量控制的自动化

       质量流量计/质量流量控制器可以将流量丈量值以输出规范电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0+5V或420mA ,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。

3精确地定量控制

       流量质量流量控制器可精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

4适用范围宽

       有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达05sccm最大流量范围可达01500slm流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2100%量程比为--50:1,因此在很多领域得到广泛应用。